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金融界2024年8月21日消息,天眼查知识产权信息显示,华海清科股份有限公司取得一项名为“一种基板磨削方法“,授权公告号CN115922470B,申请日期为2022年12月。
专利摘要显示,本发明公开了一种基板磨削方法,其包括:S1,使用校核装置确定砂轮的竖向初始位置;S2,根据砂轮的竖向初始位置、基板初始面形和基板目标面形,设定基板磨削参数;S3,根据基板磨削参数实施基板磨削加工;其中,步骤S1包括:对校核装置的量块进行恒温处理;校核装置的量块移动至吸盘的上侧;主轴组件沿竖直方向朝所述量块移动;主轴组件底部的砂轮抵压于量块,使得量块下部的检测传感器抵压于吸盘表面;检测传感器触发主轴组件停止移动信号,此时砂轮的位置为砂轮的竖向初始位置。