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安博电竞中国官方网站下载地址 华海清科取得一项基板磨削方法专利能有效确定砂轮竖向初始位置进行基板磨削

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来源:安博电竞主页 作者:安博电竞注册

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产品介绍

  金融界2024年8月21日消息,天眼查知识产权信息显示,华海清科股份有限公司取得一项名为“一种基板磨削方法“,授权公告号CN115922470B,申请日期为2022年12月。

  专利摘要显示,本发明公开了一种基板磨削方法,其包括:S1,使用校核装置确定砂轮的竖向初始位置;S2,根据砂轮的竖向初始位置、基板初始面形和基板目标面形,设定基板磨削参数;S3,根据基板磨削参数实施基板磨削加工;其中,步骤S1包括:对校核装置的量块进行恒温处理;校核装置的量块移动至吸盘的上侧;主轴组件沿竖直方向朝所述量块移动;主轴组件底部的砂轮抵压于量块,使得量块下部的检测传感器抵压于吸盘表面;检测传感器触发主轴组件停止移动信号,此时砂轮的位置为砂轮的竖向初始位置。


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