产品介绍
单晶蓝宝石具有良好的热特性、电气特性、透光性、耐磨性和较高的硬度，所以作为发光二极管(LED)、蓝光激光器(LD)的基片广泛应用于大屏幕彩显、特种照明、交通信号、光通讯等领域。蓝宝石晶体加工的基片也是高性能半导体芯片和超导薄膜的理想衬底材料，同时作为红外探测器和传感器窗口材料广泛应用于军事领域。 无论是用于微电子和光电子领域还是作为观察窗口材料，均对其表面加工精度和表面完整性有较高的要求。单晶蓝宝石莫氏硬度为9，加工比较困难。游离金刚石磨料研磨蓝宝石基片的方法存在着基片表面和亚表面损伤严重、加工效率低、磨料消耗大、加工成本高等问题。同时蓝宝石基片最终的CMP加工也存在着效率比较低，碱性或者酸性抛光液后续处理困难等问题。 针对蓝宝石基片加工过程中存在的问题，本文提出了蓝宝石基片的软磨料砂轮磨削加工方法，该方法加工蓝宝石基片不仅可以获得较好的表面加工精度和较高的加工效率，同时还可以获得低损伤加工表面。针对蓝宝石的物理化学特性，本文优选了软磨料磨具组分，设计了软磨料磨具的配方和磨具结构，研究了软磨料磨具的制备工艺，开发了两种不同主料的软磨料研磨盘，采用单因素试验研究了软磨料种类、研磨盘转速和研磨压力对加工质量的影响。在此基础上，改进了软磨料砂轮的配方，设计了软磨料砂轮的结构，制作了两种不同主料的杯型软磨料砂轮，并采用同粒度的金刚石砂轮进行了超精密磨削单晶蓝宝石基片的对比试验，研究了软磨料砂轮的磨削性能。试验表明，软磨料砂轮磨削蓝宝石基片可以获得超光滑低损伤的加工表面，同时材料去除率也得到了提高。
机译：通过超级砂轮的机械性能评估磨削性能第二报告：力学性能与树脂结合剂金刚石砂轮磨粒层的磨削性能之间的关系
机译：对蠕动进给磨削中的砂轮磨损和热限制进行研究，尤其要参考冷却液的应用以及垂直面和槽的磨削。
机译：用树脂和玻璃化粘结剂制造的氧化铝砂轮和CBN的磨削后的表面侵蚀性的比较研究通过研究，对粘结树脂和玻璃化磨料CBN和氧化铝对砂轮形貌特性的影响进行评估。砂轮锋利度
机译：用该方法制造具有轴优性的超级磨料磨削砂轮的方法以及具有轴的磨削工具和超级磨料磨削砂轮的磨削性能的方法
机译：超级磨料磨削砂轮，磨料磨粒涂层剂以及制造用于磨削砂轮的超磨削磨粒的方法以及制造磨料磨粒涂层剂的方法
